洁净度要求的问题

4楼的这位大人, 您说得很清楚详细，可惜在下看得很模糊???

洁净室标准规格说明（一） 下一页
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D之洁净室规格。

表1-1 美国联邦标准209D洁净室规格

洁净室级数（Class)
微尘粒子 压力 温度 风速与换气率（次/hr) 照度lux
粒子大小um 粒子数目Particles/ft3 mmAg 值域℃ 推薦值℃ 误差值℃ 最大MAX% 最小MIN% 误差% 层流方式0.35~0.55 m/s

1080
~

1620


1 ≧0.5 ≦1
＞1.3
19.4~25
22.2 ±2.8
　

特

殊

需

求

±1.4

45 30 ±10
　

特

殊

需

求

±5

≧5.0 0
10 ≧0.5 ≦10

≧5.0 0
100 ≧0.5 ≦100

≧5.0 ≦1
1000 ≧0.5 ≦1000
乱流方式≧20 次/hr

≧5.0 ≦10
10000 ≧0.5 ≦10000

≧5.0 ≦65
100000 ≧0.5 ≦100000

≧5.0 ≦700
至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容，前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。

表1-2 美国联邦标准209E

洁净度等级
微尘粒子

0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
5um

单位
单位
单位
单位
单位

公制
英制
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)

M1

350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
-
-

M1.5
1
1240
35.0
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
-
-

M2

3500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
-
-

M2.5
10
12400
350
2650
75.0
1060
30.0
353
10.0
-
-

M3

35000
991
7570
214
3090
87.5
1000
28.3
-
-

M3.5
100
-
-
26500
750
10600
300
3530
100
-
-

M4

-
-
75700
2140
30900
875
10000
283
-
-

M4.5
1000
-
-
-
-
-
-
35300
1000
247
7.00

M5

-
-
-
-
-
-
100000
2830
618
17.5

M5.5
10000
-
-
-
-
-
-
353000
10000
2470
70.0

M6

-
-
-
-
-
-
1000000
28300
6180
175

M6.5
100000
-
-
-
-
-
-
3530000
100000
24700
700

M7

-
-
-
-
-
-
10000000
283000
61800
1750

美国联邦标准FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位；另外209D与日本JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准，而日本则以0.1um微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等级为Class1,最差则为Class8,表1-3为日本JIS（9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其Class1，Class2...之数目字以0.1um粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10之幂次方，取其指数而得。


表1-3 日本JIS（9920 ~1989）标准

粒径\级数 Class1 Class2 Class3 Class4 Class5 Class6 Class7 Class8
0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2，360 23，600 - - -
0.3 1 10 101 1，010 10，100 101，000 1，010，000 10，100，000
0.5 - - 35 350 3，500 35，000 350，000 3，500，000
5.0 - - - - 29 290 2，900 29，000