实验室气体管道设计要求

JGJ 91-2019 《科研建筑设计标准》

10 气体管道

10.1 一般规定

10.1.1 本章适用于氢气、氧气、氮气、氩气、甲烷、乙炔、压缩空气、真空、混合气体等室内气体管道的设计。

10.1.2 气体管道设计应符合现行国家标准《城镇燃气设计规范》GB 50028、《压缩空气站设计规范》GB 50029、《氧气站设计规范》GB 50030和《氢气站设计规范》GB 50177等相关规定。

10.1.3  各种气源宜采用集中供应方式，气源站宜为独立建筑。

10.1.4  特种气体的供应应根据设备需求和特点，经综合比较后确定采用液槽供应或气瓶供应方式。

10.1.5  引入室内的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有可燃气体管道时，应有6次/h，事故时不少于12次/h的通风措施。

10.1.6  穿过实验室墙体或楼板的气体管道应设套管，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。

0.1.7  可燃、助燃气体管道应设放空管。放空管道应高出屋面1m或1m以上，并采取防雷措施。

10.1.8  可燃气体管道、助燃气体管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关标准执行。

10.1.9  输送干燥气体的管道可无坡度敷设，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3％的坡度，坡向冷凝液体收集器。

10.1.10  室内气体管道间距应符合相关规定。

10.1.11  当可燃气体管道分层敷设时，密度小的管道应位于上方。

10.1.12  室内可燃气体管道不宜在地沟内敷设或直接埋地敷设。

10.1.13  气体管道不得与电缆、导电线路同架敷设。

10.1.14  气体质量要求应符合下列规定：

    1  压缩空气质量等级不应低于现行国家标准《压缩空气》GB/T 13277中的二级规定。

2  氢气、氧气、氮气、氩气、氦气、乙炔等气体的气体质量要求应满足仪器、设备试验需要。

10.1.15  气体供应方式应符合下列规定：

    1  当采用瓶装气体供气时，宜集中设置气瓶间，采用管道供应。气瓶间宜单独设置或设在无危险性的辅助用房内。

    2  压缩空气宜由自备空气压缩机提供，压缩机应集中设置。

    3  压缩机排气应设储气罐并做相应的空气处理。

    4  可燃气体及助燃气体的干管及支管宜明敷。

    5  可燃、助燃气体管道的放散管应引至室外并高出屋脊1m，放散管应设有防雷措施。

    6  可燃气体及助燃气体管道严禁穿过生活间、办公室。

7  可燃气体及助燃气体的管道不宜穿过不使用该种气体的房间，当必须穿过时，应采取相应措施。

10.2  管道、阀门和附件

10.2.1  管道材料选用应符合下列规定：

    1  气体纯度大于或等于99.99％应采用不锈钢管。

    2  气体纯度小于99.99％可采用无缝钢管或热镀锌无缝钢管。

    3  高纯气体管道与附件连接的密封垫应采用有色金属、不锈钢、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。

4  压缩空气管道，宜采用不锈钢管。

10.2.2  管道与设备的连接段宜采用金属软管。当采用非金属软管时，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯乙烯管。

10.2.3  乙炔管道的阀门和附件不得采用纯铜质材料和70％的铜合金，其他气体管道可采用铜、碳钢等材料。可燃气体管道和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专用产品。

10.2.4  阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材料。填料应采用经除油处理的石墨石棉或聚四氟乙烯。

10.2.5  气体管道系统应不渗漏、耐压、耐温、耐腐蚀。实验室内应有足够的清洁、维护和维修明露管道的空间。

10.2.6  气体管道、阀门、终端组件、软管组件和压力指示仪表，均应有耐久、清晰、易识别的标识。气体标识的方法应为金属标记、模板印刷、盖印或粘着性标志。施工中宜采用粘着性标志。

10.2.7  埋地敷设的气体管道应符合下列规定：

    1  埋地或地沟敷设的气体管道应作加强绝缘防腐处理。

2  埋地气体管道的敷设深度不应小于当地冻土层厚度，且管顶距地面不宜小于0.70m。

3  当埋地管道穿越道路或埋深不足、地面上荷载较大时，管道应加设防护钢套管。

4  地下气体管道与建（构）筑物等及其地下管线之间最小净距可按现行国家标准《氧气站设计规范》GB 50030执行。

5  气体管道地沟应采用细沙填实，并应有排水措施。

10.3  管道连接

10.3.1  气体管道的连接应采用焊接，可燃气体管道不应用螺纹连接。高纯气体管道应采用承插焊接。

10.3.2  气体管道与设备、阀门及其他附件的连接应采用法兰或螺纹连接，螺纹连接的丝扣填料应采用聚四氟乙烯带。

10.4  安全技术

10.4.1  气体管道设计的安全技术应符合下列规定：

    1  每台（组）用可燃气体设备的支管和放空管上应设置阻火器等安全控制装置。

    2  使用可燃气体的房间应设置报警装置。

    3  气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对日用气量不超过一瓶的气体，室内可放置一个该种气体的气瓶，但气瓶应有安全防护设施。

4  气瓶存放间应有不小于3次/h换气的通风措施。

5  可燃气体存放间应有不小于6次/h换气的通风措施。事故排风不小于12次/h换气。

10.4.2  若使用高压气体或可燃气体，应有相应的安全措施，并应符合国家相关规定。

10.4.3  可燃气体管道连接用气设备支管应设置阻火器。

10.4.4  可燃气体及助燃气体的汇流排间应有浓度报警和联动排风措施。

10.5  气源站及气瓶库

10.5.1  氧气气源站宜布置成独立单层建筑物，耐火等级不应低于二级。如与其他建（构）筑物毗连，其毗连的墙应为耐火极限不低于1.50h的无门、窗、洞的防火墙，该氧气气源站至少应设一个直通室外的门。氧气供应源给水排水、照明、电气应符合现行国家标准《氧气站设计规范》GB 50030的有关规定。

10.5.2  氮气、二氧化碳、氧化亚氮等气体供应源不应设在地下或半地下建筑内。可设在不低于三级耐火等级建筑内的靠外墙处，并应采用耐火极限不低于1.50h的墙和丙级防火门与建筑物的其他部分隔开。

10.5.3  氢气、乙炔、甲烷等可燃气体宜布置成独立单层建筑物，不得设在地下或半地下建筑内。耐火等级、泄压面积和可燃气体浓度报警，按可燃气体的相应标准执行。

10.5.4  气体的储存应设置有专用仓库，其平面布置、建筑物的耐火等级、安全通道及消防等应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016的有关规定。当气体储存库与其他建（构）筑物毗连时，其毗连的墙应为无门、窗、洞的防火墙，并应有直通室外的门。其围护结构上的门窗应向外开启，并不应使用木质、塑钢等可燃材料制作。

GB 50346-2011《生物安全实验室建筑技术规范》

6  给水排水与气体供应

6.1  一般规定

6.1.1  生物安全实验室的给水排水干管、气体管道的干管，应敷设在技术夹层内。生物安全实验室防护区应少敷设管道，与本区域无关管道不应穿越。引入三级和四级生物安全实验室防护区内的管道宜明敷。

6.1.3  进出生物安全实验室防护区的给水排水和气体管道系统应不渗漏、耐压、耐温、耐腐蚀。实验室内应有足够的清洁、维护和维修明露管道的空间。

6.1.4  生物安全实验室使用的高压气体或可燃气体，应有相应的安全措施。

6.4  气体供应

6.4.1  生物安全实验室的专用气体宜由高压气瓶供给，气瓶宜设置于辅助工作区，通过管道输送到各个用气点，并应对供气系统进行监测。

6.4.2  所有供气管穿越防护区处应安装防回流装置，用气点应根据工艺要求设置过滤器。

6.4.3  三级和四级生物安全实验室防护区设置的真空装置，应有防止真空装置内部被污染的措施；应将真空装置安装在实验室内。

6.4.4  正压服型生物安全实验室应同时配备紧急支援气罐，紧急支援气罐的供气时间不应少于60min／人。

6.4.5  供操作人员呼吸使用的气体的压力、流量、含氧量、温度、湿度、有害物质的含量等应符合职业安全的要求。

6.4.6  充气式气密门的压缩空气供应系统的压缩机应备用，并应保证供气压力和稳定性符合气密门供气要求。

GB 50073-2013 《洁净厂房设计规范》

8  工业管道

8.1  一般规定

8.1.1  洁净室（区）工业管道的敷设应符合下列规定：

    1  洁净室（区）内工业管道不应穿越无关的房间。

    2  干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。

    3  易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。

4  当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时，必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。

8.1.2  洁净室（区）工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB   50316的有关规定。

8.1.3  工业管道设计应符合下列规定：

    1  应按输送介质的物化性质，合理确定管内物料流速和管径。

    2  在满足生产工艺的条件下，管道系统应尽量短。

    3  应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。

4  管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。

8.1.4  工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。

8.1.5  可燃气体管道、氧气管道的末端或最高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。

8.1.6  气体净化装置的选择和配置应符合气源和生产工艺对气体纯度的要求。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。

8.1.7  气体过滤器的选择和配置应符合生产工艺对气体洁净度的要求。高纯气体终端过滤器应设在靠近用气点处。

8.1.8  洁净厂房内、生产类别为现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016规定的甲、乙类气体、液体入口室或分配室的设置应符合下列规定：

    1  当毗连布置时，应设在单层厂房靠外墙或多层厂房的最上一层靠外墙处，并应与相邻房间采用耐火极限大于3.0h的隔墙分隔。

    2  应有良好的通风。

3  泄压设施和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》GB 50016、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定执行。

8.2  管道材料和阀门

8.2.1  工业管道材料和阀门应根据所输送物料的物化性质和使用工况选用，并应满足生产工艺的要求和使用特点，经技术经济比较后确定。

8.2.2  高纯气体管道和阀门的选用应符合生产工艺的要求，并应符合下列规定：

    1 当气体纯度大于或等于99.999％，露点低于－76℃时，应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁光亮抛光的不锈钢管。阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀。

2 当气体纯度大于或等于99.99％，露点低于－60℃时，应采用内壁光亮抛光的不锈钢管。除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其他气体管道宜采用球阀。

8.2.3  当干燥压缩空气露点低于－70℃时，应采用内壁光亮抛光的不锈钢管；当露点低于－40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。

8.2.4  阀门材质宜与相连接的管道材质相适应。

8.3  管道连接

8.3.1  工业管道的连接应符合下列规定：

    1 管道连接应采用焊接，热镀锌钢管应采用螺纹连接。

    2 不锈钢管应采用氩弧焊，以对接焊或承接焊连接；高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。

8.3.2  管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。

8.3.3  管道与管道、管道与阀门连接的密封材料应符合下列规定：

    1 螺纹或法兰连接处的密封材料应根据输送物料性质、设计工况选择，宜采用聚四氟乙烯等。

    2 高纯气体管道与阀门连接的密封材料应按生产工艺和气体特性的要求确定，宜采用金属垫或双卡套。

8.3.4  洁净室（区）内的工业管道应根据管子表面温度和环境温度、湿度确定保温形式和构造。冷管道保温后的外表面温度不应低于环境的露点温度。保温层外表面应采用不产生尘粒、微生物的材料，并应平整、光洁，宜采用金属外壳保护。

8.4  安全技术

8.4.1  下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机连锁：

    1 生产类别为甲类的气体、液体入口室或分配室。

    2 管廊，上、下技术夹层，技术夹道内有可燃气体的易积聚处。

3 洁净室内使用可燃气体处。

8.4.2  可燃气体管道应采取下列安全技术措施：

    1 接至用气设备的支管宜设置阻火器。

    2 引至室外的放散管应设置阻火器，并应设置防雷保护设施。

    3 应设导除静电的接地设施。

8.4.3  氧气管道应采取下列安全技术措施：

    1 管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理。

2 应设导除静电的接地设施。

8.4.4  工业管道应按不同介质设明显的标识。

8.4.5  各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室内，应采取不积尘和易于清洁的措施。

GB 50457-2019 《医药工业洁净厂房设计标准》

6  工艺管道

6.1  一般规定

6.1.1  工艺管道的干管应敷设在技术夹层或技术夹道中。需要拆洗和消毒的管道应明敷。可燃、易爆、有毒、有腐蚀性的物料管道应明敷，当需穿越技术夹层时，应采取可靠的安全措施。

6.1.2  工艺管道在设计和安装时，不应出现使输送介质滞留和不易清洁的部位。

6.1.3  在满足工艺要求的前提下，工艺管道宜短。

6.1.4  工艺管道系统应设置吹扫口、放净口和取样口。

6.1.5  输送纯化水的管道应符合本标准相关的规定，输送注射用水的管道应符合本标准相关的规定。

6.1.6  工艺管道不宜穿越与其无关的医药洁净室。

6.1.7  输送可燃、易爆、有毒、有腐蚀性介质的工艺管道。应根据介质的理化性质控制物料的流速，并应符合本标准第6.4节的有关规定。

6.1.8  与药品直接接触的工业气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度的要求选择。气体终端净化装置的设置应靠近用气点。

6.2  管道材料、阀门和附件

6.2.1  管道、管件和阀门等应根据所输送物料的理化性质和使用工况选用。采用的材料和阀门应满足工艺要求，不应吸附和污染物料。

6.2.2  输送无菌介质的管道材料应采用内壁抛光的优质不锈钢或其他不污染物料的材料，输送纯化水的管道材料应符合本标准第5.4.2条的规定，输送注射用水的管道材料应符合本标准第5.4.3条的规定。

6.2.3  输送工艺物料的干管不宜采用软性管道，不得采用铸铁、陶瓷、玻璃等脆性材料。当采用塑性较差的材料时，应有加固和保护措施。

6.2.4  引入医药洁净室的明敷管道，应采用外抛光不锈钢，或其他不污染环境、外表不易积尘的材料。    

6.2.5  工艺管道上的阀门、管件材质，应与所连接的管道材质相适应。

6.2.6  医药洁净室内工艺管道上的阀门、管件除应满足工艺要求外，尚应采用拆卸、清洗和检修方便的结构形式。

6.2.7  管道与设备宜采用金属管材连接。采用软管连接时，应采用金属软管。

6.3  管道的安装、保温

6.3.1  工艺管道的连接应采用焊接连接。不锈钢管应采用对接氩弧焊。

6.3.2  管道与阀门连接宜采用焊接连接，也可采用法兰、螺纹或其他密封性能优良的连接件。接触工艺物料的法兰和螺纹的密封圈应采用不易污染物料的材料。

6.3.3  穿越医药洁净室墙、楼板、顶棚的管道应敷设套管，套管内的管段不应有焊缝、螺纹和法兰。管道与套管之间应有密封措施。

6.3.4  医药洁净室内的管道应排列整齐，宜减少阀门、管件和管道支架的设置。管道支架应采用不易锈蚀、表面不易脱落颗粒性物质的材料。

6.3.5  医药洁净室内管道的绝热方式应根据所输送介质的温度确定。冷保温管道的外壁温度不得低于环境的露点温度。

6.3.6  医药洁净室内的管道绝热保护层表面应平整光滑，无颗粒性物质脱落。

6.3.7  医药洁净室内的各类管道，均应设置指明输送物料名称及流向的标志。

6.4  安全技术

6.4.1  存放及使用可燃、易爆、有毒、有腐蚀性介质设备的放散管应引至室外，并应设置相应的阻火装置、过滤装置和防雷保护设施。放散管的设置应符合有关规定。

6.4.2  可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设置放散管。可燃气体放散管的设置应符合现行国家标准《石油化工企业设计防火标准》(2018年版)GB 50160的有关规定，氧气管道放散管的设置应符合现行国家标准《氧气站设计规范》GB 50030的有关规定。引至室外的放散管应采取防雨和防异物侵入的措施。

6.4.3  输送甲类、乙类可燃、易爆介质的管道应设置导除静电的接地设施。

6.4.4  下列部位应设置可燃、易爆介质报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风装置连锁：

    1 甲类、乙类介质的入口室；

    2 管廊、技术夹层或技术夹道内有甲类、乙类介质的易积聚处；

    3 医药工业洁净厂房内使用甲类、乙类介质的场所。

6.4.5  医药工业洁净厂房内不得使用压缩空气输送可燃、易爆介质。

6.4.6  各种气瓶应集中设置在医药洁净室外。当日用气量不超过一瓶时，气瓶可设置在医药洁净室内，但应有气体泄漏报警和消防等安全措施。

GB 50472-2008 《电子工业洁净厂房设计规范》

10  气体供应

10.1  一般规定

10.1.1  洁净厂房内应根据生产的需求使用各种不同类型的特种气体、常用气体、干燥压缩空气，其气体品质应满足生产工艺要求。

10.1.2  常用气体的供气方式和供气系统，应根据气体用量、气体品质和当地的供气状况等因素，经技术经济比较后确定。

10.1.3  洁净厂房常用气体、特种气体的制备、储存、分配系统，除应符合本规范外，还应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016、《氢气站设计规范》GB 50177和《氧气站设计规范》GB 50030等的有关规定。

10.1.4  洁净厂房内的气体管道的干管，应敷设在技术夹层或技术夹道内。当与水、电管线共架时，比空气重的气体管道宜设在水、电管线下部，比空气轻的气体管道宜设在水、电管线上部。

10.1.5  洁净室(区)内的可燃气体管道和有毒气体管道应明敷，穿过洁净室(区)的墙壁或楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝，套管与管道之间应采取密封措施。

10.1.6  可燃气体管道和有毒气体管道不得穿过不使用此类气体的房间；当必须穿过时应设套管或双层管。

10.1.7  高纯气体管道设计应符合下列规定：

    1 管径应按气体容许流量、压力或生产工艺设备确定，管外径不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，

    2 不得出现不易吹除的“盲管”等死空间，

    3 管道系统应设置吹扫口和取样口。

10.1.8  洁净厂房的可燃气体管道系统应设置下列安全设施：

    1 可燃气体管道设置阀门时应设置阀门箱，阀门箱应设置气体泄漏报警和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机联锁；

    2 接至用气设备的支管和放散管，宜设置阻火设施；

    3 引至室外的放散管，应设置防雷保护设施，

    4 应设置导除静电的接地设施。

10.1.9  气体过滤器应根据产品生产工艺对气体洁净度的要求进行选择和配置。终端气体过滤器应设置在靠近用气点处。

10.2  常用气体系统

10.2.1  常用气体供应系统宜在工厂内或邻近处设置制气装置或采用外购液态气体、瓶装气体。

10.2.2  氢气、氧气管道的终端或最高点应设置放散管。氢气放散管口应设置阻火器。放散管引至室外，应高出本建筑的屋脊1m，并应采取防雨、防杂物侵入的措施。

10.2.3  气体纯化装置的设置，应符合下列要求：

    1 气体纯化装置应根据气源和产品生产工艺对气体纯度、容许杂质含量要求选择；

    2 气体纯化装置宜设置在气体纯化间(站)内。当洁净厂房设有气体入口室时，气体纯化间宜与气体入口室合建；

    3 各类气体纯化装置宜设置在同一气体纯化间(站)内。若有特殊要求时，也可根据具体要求分别设置在各自的气体纯化间内；

    4 气体终端纯化装置宜设置在邻近用气点处。

10.2.4  进入洁净厂房的气体管道控制阀门、气体过滤器、调压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设置在气体入口室。

10.2.5  气体纯化间(站)或气体入口室内，设有氢气等可燃气体纯化装置或管道时，气体纯化间(站)或气体入口室的火灾危险性应按甲类确定，并应符合下列规定：

    1 应靠外墙设置，并应设置防爆泄压设施；

    2 氢气等可燃气体引入管道上应设置自动切断阀；

    3 应具有良好的自然通风，并应设置事故排风装置；

    4 应设置气体泄漏报警装置，并应与事故排风装置联锁；

    5 应设置导除静电的接地设施。

10.2.6  洁净厂房内的氧气管道等，应采取下列安全技术措施：

    1 管道及阀门、附件应经严格的脱脂处理；

    2 应设置导除静电的接地设施；

    3 氧气引入管道上应设置自动切断阀。

10.2.7  各种常用气体的气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室(区)内，但应采取不积尘和易于清洁的措施。

10.2.8  气体管道和阀门应根据产品生产工艺要求选择，宜符合下列规定：

    1 气体纯度大于或等于99.999999％时，应采用内壁电抛光的低碳不锈钢管，阀门应采用隔膜阀；

    2 气体纯度大于或等于99.999％、露点低于-76℃时，宜采用内壁电抛光的低碳不锈钢管或内壁电抛光的不锈钢管，阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀；

    3 气体纯度大于或等于99.99％、露点低于-60℃时，宜采用内壁抛光的不锈钢管，除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其余气体管道宜采用球阀；

    4 气体管道阀门、附件的材质宜与相连接的管道材质一致。

10.2.9  气体管道连接，应符合下列规定：

    1 管道连接应采用焊接，

    2 不锈钢管应采用氩弧焊，宜采用自动氩弧焊或等离子熔融对接焊；

    3 管道与设备或阀门的连接，宜采用表面密封的接头或双卡套，接头或双卡套的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫；

    4 管道与设备的连接应符合设备连接的要求。当采用软管连接时，宜采用金属软管。

10.3  干燥压缩空气系统

10.3.1  洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定，并应符合下列规定，

    1 供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定，并应设有一定的备用供气量；

    2 供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定；

    3 供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站；

    4 应选用能耗少、噪声低的设备，宜选用无油润滑空气压缩机；

    5 含水量要求严格时，宜选用加热再生吸附干燥装置。

10.3.2  干燥压缩空气管道内输送露点低于-76℃时，应采用内壁电抛光低碳不锈钢管或内壁电抛光不锈钢管；露点低于-40℃时，宜采用不锈钢管或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。

10.3.3  管道连接应符合下列规定：

    1 宜采用焊接，不锈钢管应采用氩弧焊；

    2 含水量露点严于-40℃时，用于管道连接的密封材料宜采用金属垫或聚四氟乙烯垫；

    3 当采用软管连接时，宜采用金属软管。

10.4  特种气体系统

10.4.1  特种气体应采用外购钢瓶气体、液态气体供应，在电子工厂内应设置储存、分配系统。

10.4.2  洁净厂房内特种气体的储存分配间应采用耐火极限不低于2.0h不燃烧体的隔墙与洁净室(区)分隔，隔墙上的门窗应为甲级防火门窗。

10.4.3  洁净室(区)内可燃或有毒的特种气体分配系统的设置，应符合下列规定：

    1 特种气体钢瓶(含硅烷或硅烷混合物)应设置在具有连续机械排风的特气柜中；

    2 排风机、泄漏报警、自动切断阀均应设置应急电源；

    3 一个特气分配系统供多台生产设备使用时，应设置多路阀门箱；

    4 可燃性、氧化性特种气体管道的设置应符合本规范第10.1和10.2节的有关规定。

10.4.4  特种气体分配系统应设置吹扫盘，并应符合下列规定：

    1 应设置应急切断装置；

    2 应设置过流量控制装置，

    3 应设置手动隔离阀；

    4 吹扫气源不宜采用常用气体系统；

    5 不相容特种气体的吹扫盘不得共用吹扫气瓶。

10.4.5  硅烷或硅烷混合物的气瓶应存放在洁净厂房建筑外的储存区内。储存区的设置应符合下列规定：

    1 储存区应至少三面敞开，气瓶应固定在钢制框架上；

    2 气瓶或气瓶组与周围的构筑物或围栏的间距应大于3.0m；

    3 储存区顶棚的高度应大于3.5m。