景深合成：微型MEMS传感器封装的全焦面检测技术

微型MEMS传感器封装包含敏感元件、金属引线、封装薄膜等多层结构，缺陷多为0.002mm以下的引线虚焊、封装气泡、薄膜褶皱，且分布在不同景深层面，对检测精度与全维度观测能力要求极高。传统单焦面成像检测存在明显短板：景深较浅，无法在单张图像中清晰呈现所有焦面细节，检测人员需反复调焦分段拍摄，单颗传感器检测耗时超11分钟，效率低下；反光干扰与人工判断误差导致漏检率超32%，隐性缺陷易流入市场，引发医疗、工业设备检测故障。

景深合成技术通过多焦面采集与智能融合算法，实现MEMS传感器精准检测。核心优势体现在三方面：一是多焦面精准采集，系统根据传感器厚度自动设定0.001mm采集步长，采集35-55张不同焦面高清图像，全面覆盖微观结构，无检测盲区；二是智能图像融合，深度学习算法对图像进行像素级分析，筛选清晰区域并融合生成全焦面图像，可清晰识别0.0015mm微小缺陷，无需人工调焦；三是缺陷智能量化，集成MEMS缺陷特征数据库，自动识别8类常见缺陷，精准测量尺寸参数，检测一致性达99.5%，数据导出标准化报告，对接质检系统实现全追溯。

某精密传感器企业引入该技术后，检测能力大幅提升。缺陷检出率从68%提升至99.8%，彻底解决漏检问题；单颗传感器检测时间从11分钟缩短至1.4分钟，效率提升7.9倍，满足大批量生产需求。通过量化数据优化封装工艺，生产不良率从5.8%降至0.7%，每年减少废品损失超30万元；检测数据支撑产品通过高端行业认证，业务范围拓展至医疗、航空航天领域。