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硅棒与硅片的生产与环境(浅谈)硅棒与硅片的生产与环境(浅谈) 一、硅棒和硅片的原材料都是多晶硅 多晶硅是一种高纯度的硅材料,通常要求纯度达到 99.9999%以上。它是由许多小晶体组成的硅材料,其晶体结构比较杂乱,不像单晶硅那样具有单一的晶体取向。 多晶硅可以通过化学气相沉积(CVD)、西门子法等方法制备。其中,化学气相沉积是一种常用的方法,它通过将硅烷等气体在高温下反应,在衬底上沉积出多晶硅薄膜。西门子法是一种传统的多晶硅制备方法,它通过将硅和氯化氢气体反应,生成多晶硅和氢气。多晶硅经过提纯和加工后,可以用于制造硅棒和硅片。硅棒是通过将多晶硅进行拉晶或区熔等工艺制成的圆柱形硅材料,它具有特定的晶体结构和直径。硅片是通过将硅棒切割成薄片而得到的,它是制造半导体器件的基础材料。
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