半导体厂务系统洗涤塔简介

知识点：洗涤塔（器）

洗涤塔属两相逆向流填料吸收塔。气体从塔体下方进气口进入净化塔，在通风机的动力作用下，迅速充满进气段空间，然后均匀地通过均流段上升到第一级填料吸收段。在填料的表面上，气相中污物与液相中物质发生化学反应。反应生成物（多数为可溶性盐类）随吸收液流入下部贮液槽。未完全吸收的气体继续上升进入喷淋段。在喷淋段中吸收液从均布的喷嘴高速喷出，形成无数细小雾滴与气体充分混合、接触、继续发生化学反应。在喷淋段及填料段两相接触的过程也是材热与传质的过程。通过控制空塔流速与滞贮时间保证这一过程的充分与稳定。废气则由塔体（逆向流）达到气液接触之目的。此处理方式可冷却废气、去除颗粒及净化气体。塔体的最上部是除雾段，气体中所夹带的吸收液雾滴在这里被清除下来，经过处理后的洁净空气从洗涤塔上端排入大气中。

常见分类：填料塔、喷淋塔、板式塔、鼓泡塔、文丘里

• 有机洗涤塔（去除有机废气）

• 酸碱废气洗涤塔（去除酸碱性气体）

• 热排气（去除水蒸气，热风等）

• 湿式除尘器（除尘）

洗涤塔技术参数

• 洗涤塔PH值要求：

• 酸性：8-10

• 碱性：4-6

• 化学品使用浓度：

• 硫酸:50%-70%

• NaOH:25%

• 水位补水：液位电极

• 压差小于800pa

• 电导率600-800ms/cm毫西门子每厘米

• ROR回收水，

• 电导率2000-3000换水

• 一台洗涤塔一天补3-6吨水

工艺原理图

鲍尔环

拉西环

常见填料材质

• PP材料（聚丙烯），是一种非常安全且质地轻的塑料材料，耐热性好，表面有独特的光泽并且容易加工出呈现出鲜艳色彩；由于耐弯折强度比较高，在生产一些一体成型的的容器时（像一些盒盖和盒身成一体的容器）会经常优先采用些类的材质。

• PVC材料(聚氯乙烯)，PVC材料最大的特性是能加入不同的添加剂，做成各种种类的软硬和质感不同用途不一的的物品，可塑性非常强。

• PET材料（聚乙烯对苯二甲酸酯）大家经常见到的宝特瓶制作的材料，PET也可以作为纤维使用，PET最大的特点是且具有完整的回收循环利用系统，这种高效率使用的材料因其环保，安全性在胶盒，吸塑包装行业被大量的使用

• 聚乙烯（PE）、是一种经常被用来加工生产保鲜膜，塑料袋的原材料，PE因价格低廉而，比较容易成型，也是一种常用生产塑料水桶的材料。PE不耐热，但可耐受零下20度的低温。

• ABS树脂，比PS的强度要高，在成型时的流动性非常好，是注塑行业用的非常普遍的一种材料。

• PA材质（尼龙），这是一种当做纤维使用的塑料材料。PA具有抗拉伸、耐压缩、弯曲性能好，PA也经常用来制成各类的零部件。

洗涤塔用途

• 各种有害气体如苯、甲苯、二甲苯、H2S、SOX、NOX、NH3、氯化氢、氯气等气体之处理；

• 污水处理场、垃圾中转站、污泥处理场和餐厨垃圾处理场之除臭装置；半导体光电业之制程排气处理；

• 垃圾填埋场之渗出水贮留池废气处理；

• 焚化炉及工业炉等排放之废气处理；

• 电镀工厂（电镀、酸洗、浸镀作业）废气处理；

• 喷漆房、印刷电路板工厂废气处理；

• 印机械加工厂油雾废气处理；

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1、GB5226.1-2008 机械电气安全

2、GB19517-2009国家电气设备安全技术规范