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工业自动化
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半导体厂房电气系统 > > > > 半导体厂房电气系统概述 半导体厂房相较于其他工业类厂房，主要特殊之处在于其洁净等级要求高，光刻机、等离子注入机等精密设备的电源质量和电压等级要求高。
遇到了一点小问题
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