半导体气体管路工程施工规范

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气体管路工程施工规范

1、承包商于进行配管焊接时，必须穿戴上干净无尘室专用手套及护具。

2、配管材料气体接触部分，不可用污秽的手套或用手直接触摸。

3、配管时必须使用超高纯度氩气作为焊接之气体，施工完后所有管路须用超高纯度氩气或氮气不间断PURGE，PURGE 排气须接至室外排放，以避免人员窒息危险。

4、配管焊接时，所有临时管路须为SUS 316 硬管。

5、所有配管焊接须于每日施工前，先做每一管径试件试焊，并须记录焊接机之焊接参数、合格试件及焊接参数，经监工人员检验合格后，施工人员才能开始施工。

6、焊接时，须使用内压管理。

7、1/2 英寸（含）以下管道可以使用弯管器，管弯半径R＞5D(D 为外径)。若无法满足上述要求则一律使用ELBOW 施工。

8、配管时，切管、修倒角及端面，管子必须直立向下或平行，以避免铁屑附着于管内壁，且须小心进刀避免刮伤管内光滑表面。

9、配管切割后须以洁净 N2 GUN 气体清除，管内壁切割面应位于下流方向。

10、施工进行中，须按图施工，如发现施工图面出现问题或要求设计更改时，应立即回报监工处理，不可擅自做主。

11、所有 VCR 接头，在确定不会再拆或作最后复原时，安装Gasket 锁紧，并须于泄漏侦测孔标示圆圈标记。

12、所有完工之管路每隔 l.5 公尺及转弯、穿墙后，须加挂或贴上该种气体名称，流向之标签，标签须以划线对准，务求整齐一致。

13、施工承包商应将存储及施工区域的机具、环境卫生整理干净。

14、须符合验收标准，若违反或不符此规定之项目，须配合重新施工至合乎规范标准，而因此衍生出之成本增加及进度延误责任，一律由承包商自行吸收。

15、临时性洁净棚装设在现场。管路工作中，所有的预作管线部份均需在临时洁净棚内进行，以控制其微尘数。

16、焊接工作

• I. 焊接尾端覆以有孔之干净塑料套盖再接上差压计做焊接管内压力控制管理，以隔绝大气中之尘埃、水气及不纯物。

• II. 即使焊接完成也要继续通氩气保持循环状态，并将焊接处金属基底降温。

17. 纯度提升之过程

在完成保压试验后，为了提升管线内部的纯净度，下列的过程可以一一进行之。

• a、冲吹过程所有的次主管均以纯氩气或氮气反复喷洗(cycle purge) ，其使用气体的流速约为15-20m／sec

• b、提纯过程

• 以纯氩气或氮气持续冲吹，冲吹压力以不超过各测试仪器最大入口压力为原则。

管道分析测试和验收标准

1. 测试前检查要项

• a) 所有管道测试前必须先确认管路标签与实际气体管路是否相符，标签气体流向，焊道品质确认。

• b) 目测, 查看是否有歪斜、扭曲，是否有管夹松脱。

• c) 现场使用的测试仪器均要有校正记录资料。

2. 所有管路现场测试结果必须经过测试人员和业主相关人员签字。

3. 所有焊点和 VCR 连接点必须在通过测试后粘贴Q.C.标签。

4. 测试结果审核：

• a) 测试结果，须经过业主 现场人员签名认可，才算完成。

• b) 测试完成后，测试报告必须填写完整并由相应的业主人员签名。

5. 保压测试

• a) 记录方式须采圆盘式或电子式记录。

• b) 须有连续记录功能。

• c) 测试时间 Bulk Gas 及Specialty Gas 都须要保压超过24hr，压力正负值不得大于2 %。

• d) 所有管路一律使用 PN2 作为测试气体。

• e) 衔接完，开始测试前要先观察保压计上的表面压力30 分钟，确认压力没有变化，才开始记录。

• f) 保压测试务必确认记录器通往测试管路之阀门已打开，否则等于没在做气密测试。

• g) 严禁使用检漏液作为测漏工具。

• h) 保压压力为 1.5 倍工作压力。

6. 管路吹扫——N2 Purge

• a) 管路吹扫的标准联结与保压测试相同，吹扫须用UHP N2

• b) N2 Purge 必须排放厂外或General Exhaust，禁止向Fab 或Sub-fab 排放。

7. Helium Leak 测试

• a) 测试时，业主人员必须在场。

• b) 须确认氦测漏机已经抽至 1X10-9atm*cc/sec,才可以进行。

• c) 测试人员须从焊接人员获得焊点清单，并依照清单检查实际焊点。在做 He Leak Test时务必每一个焊道和VCR 接点均做喷氦气测试，确认没问题后于焊道旁边贴He leak test pass ok 标签并签名 , 并予以记录在焊点清单上。

• d) 测试点喷 He 时，务必遵行“由近而远，由上而下”的原则进行测漏，以免He 飘散

• 而达不到测漏之效果与反应真实漏率。

• e) 喷氦气测试时，当管路较长时，喷He 气测试一个焊道，需等3 分钟后确认数值没有上升的情况下，才可以再对下一个焊道做测试。（根据管路的长度来适当调节确认数值没有上升的时间）

• f) 氦测漏测试指标：小于5x10-9atm·cc/sec.

8. Moisture 含量测试：

• a) 须使用 PN2 作为purge 气体。

• b) 分析时必须连续记录显示微水份含量之下降趋势,在测试数值达到小于100ppb 时，须继续记录30 分钟，并确认数值没有再上升，测试记录才可结束。

• c) 测试时，管路不得加装使用Purifier，接头使用VCR 接头，禁止使用Teflon 软管。

• d) Moisture 含量测试指标：小于100ppb。

9. 微 O2 含量测试：

• a) 须使用 PN2 作为purge 气体。

• b) 分析时必须连续记录分析值，以显示微氧含量之下降趋势。在测试数值达到小于100ppb 时，须继续记录30 分钟，并确认数值没有再上升，测试记录才可结束。

• c) 测试时，管路不得加装使用Purifier，接头使用VCR 接头，禁止使用Teflon 软管。

• d) 微 O2 含量测试指标：<100ppb(供参考，根据具体的制程要求确定)。

10.Particle 测试：

• a) 使用 PN2 作为purge 采样气体。

• b) 测试前所有 Piping 均须执行加减压冲吹（或Cycle Purge 至少30 次以上），彻底吹出管路里之微尘。

• c) 测试中，须使用橡胶槌轻敲管壁，以确认无Particle 残留。

• d) 测试时间为 10 分钟，测试压力30~90psig，测试速率为7m/s。

• e) 本项测试须连续3次通过测试标准（标准为大于或等于的0.1μparticle 不得超过1个）。

• f) 指标：≤1pcs/scf@0.1μm

11.衔接管路

• a) 衔接时尽量保持N2 purge，管路衔接完成后方可关闭N2 purge，

• b) 测试完成后，衔接管路时，于管路接点处，张贴“ QA/QC PASS OK”易碎贴纸，防止非相关人员拆除接点，并于贴纸上签上员工号码，易于查询。

• c) 注意:必须填写Tie-in request form 向业主人员申请, 并严格遵照要求执行。

注：以上标准参数仅供参考，更高阶制程规格参数要求更高！

来源： 特气论坛