Keithley吉时利4200-SCS半导体特性分析系统
主要特点及优点
直观的、点击式Windows操作环境
独特的远端前置放大器,将SMU的分辨率扩展至0.1fA
用于高级半导体测试的新型脉 冲与脉冲式I-V功能
集成了示波与脉冲测量功能的新型示波卡
内置PC提供快速的测试设置、强大的数据分析、制图与打印、以及测试结果的大容量存储
独特 的浏览器风格的软件界面,根据器件的类型来安排测试,可以执行多项测试并提供测试序列与循环控制功能
内置了Stress/Measure,循环和数据分析功能,通过鼠标点击方 式就可进行可靠性测试,包括5个JEDEC规范的样品测试
支持 Keithley590 型与 Agilent 4284/4294型C-V仪、Keithley开关矩阵与Agilent 81110脉冲发生器等多种外围设 备
硬件由Keithley交互式测试环境(KITE)来控制,用户测试模块功能,可用于外接仪表控制与测试平台集成,是KITE功能的扩充
包括驱动软件,支持 CascadeMicrotech Summit 12K系列、Karl Suss PA-200和PA-300,Micromanipulator 的8860自动和手动探针台
支持先进的半导体模型参数提取,包括IC-CAP和Cadence BSIMProPlus/Virtuoso
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工业自动化
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