质量流量控制器可以用于控制所有各种气体，包括腐蚀性气体和特殊气体，但是要注意，对于使用腐蚀性气体和特殊气体，需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，需要向供货厂商特殊声明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，造成严重损失。通常质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。质量流量控制器采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。 质量流量控制器一般指自控式流量控制阀，是一种直观简便的流量调节控制装置，管网中应用自控式流量控制阀可直接根据设计来设定流量，阀门可在水作用下，自动消除管线的剩余压头及压力波动所引起的流量偏差，无论系统压力怎样变化均保持设定流量不变，质量流量控制器该阀这些功能使管网流量调节一次完成，把调网工作变为简单的流量分配，有效的解决管网的水力失调。
质量流量控制器是一种无须温度、压力补偿就能方便而且准确地监测在管道中流动的空气、氮气、氢气、氧气、天然气、烟道气、沼气和其它各种气体质量流量的新型流量计量、监控仪表。由于质量流量控制器结构型式的多样灵活，可满足使用现场的不同需求。使zui困难的大管径、低流速的流量测量变得简单了。如配以不断流装拆装置，则可使用户在不停气的工况下方便而又放心地装拆质量流量控制器，因此质量流量控制器的维修或传感探头的清洗就变得轻而易举了。 质量流量控制器采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD)，一个是速度传感器，一个是自动补偿气体
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