吉时利6517A/Keithley6517B静电计
高阻计/静电计。
测量范围：
电流(10-17~10-2A)；
电压(10-6~102/104V)；
温度(-190~1350℃)；
电阻(10-1~1017Ω)；
电荷(10-15~10-6C)；
湿度(0.3%~高标准)
主要性能：
Ω/口；
数据存储(15K,Max),触发联接技术
选件：
TESTPOINT-测控软件包；
6524-高阻,体/表面电阻率测试软件包,较新变电压
较性法增强高阻测试能力
软件支持：
电容漏电测试；
阶梯波扫描测试
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