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制程排气系统设计

发布于:2008-03-13 22:43:13 来自:环保工程/大气治理 [复制转发]
请问关于半导体洁净厂房制程排气系统的设计, 有什么推荐的教材,设计手册,或者学习资料吗?
目前我也找了一些,但是比较分散,没有系统的学习,希望知道的前辈推荐一下.

全部回复(3 )

只看楼主 我来说两句
  • sanry0123.163.com
    如果有资料的朋友,也请发我一份啊。。、

    email: sanry0123@163.com
    2013-05-31 13:24:31

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    赞同0
  • fm-darrenliu
    fm-darrenliu 板凳
    如果有这一块技术的朋友,请将资料也发给我一份.
    邮箱:FM-darren@163.com
    谢谢
    2009-03-06 16:41:06

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    赞同0
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这个家伙什么也没有留下。。。

大气治理

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