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半导体洁净厂房制程排气系统设计

发布于:2008-03-13 22:41:13 来自:暖通空调/洁净空调系统 [复制转发]
请问关于半导体洁净厂房制程排气系统的设计, 有什么推荐的教材,设计手册,或者学习资料吗?
目前我也找了一些,但是比较分散,没有系统的学习,希望知道的前辈推荐一下.

全部回复(4 )

只看楼主 我来说两句
  • luizs@co163
    luizs@co163 沙发
    具体问题具体分析.
    工艺排风主要是分类,再来是选好处理设备,再次要计算好系统压损,末了就是配合环保方向决定烟囱的高度.
    2008-03-20 15:33:20

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  • newage83
    newage83 板凳
    谢楼上的,半导体技术天地以前有看到过,但是后来进不去所以就忽略了,现在又进去了...
    2008-03-19 22:47:19

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这个家伙什么也没有留下。。。

洁净空调系统

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