现在多晶硅材料行业发展越来越快,多晶硅生产的原料是三氯氢硅和氢气,按照一定的比例进入还原炉内进行热分解和还原反应产生多晶硅。多晶硅材料超纯水设备的出现解决了多晶硅生产用水的难题,下面为大家介绍一下多晶硅材料超纯水设备的工艺流程:
采用离子交换方式,其流程如下:
原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→纯水输送泵→微孔过滤器→用水点
采用两级反渗透方式,其流程如下:
原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→一级反渗透 →PH调节→二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→无菌水箱→纯水输送泵→微孔过滤器→用水点
采用EDI方式,其流程如下:
原水→原水泵→石英砂过滤器→活性碳过滤器→软化过滤器→精密过滤器→反渗透→中间水箱→EDI增压泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
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水处理
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单晶硅超纯水设备一级出水水质差的原因是什么呢用户在使用单晶硅超纯水设备时都会对各级的水质进行监测分析,有时可能会出现一级处理出水水质差,不达标准的情况。这样就会对接下来的水处理工作带来损坏和成本上的消耗,那么为什么单晶硅超纯水设备一级出水水质差呢?这里简单的分析一下: 1、单晶硅超纯水设备中可能含有沉积太久的水,要将其排掉处理。 2、单晶硅超纯水设备中的抛光树脂失效,需要更换超化柱。 3、循环管路上的单向阀损坏,导致水没有通过超化柱就通过了循环管路反向出水,需要更换循环管路上的单向阀。
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