SICOLAB洁净厂房施工及质量验收（空气洁净度等级测试）

SICOLAB洁净厂房施工及质量验收（空气洁净度等级测试）

一、空气洁净度等级的测试宜采用粒子计数器，采样量应大于1L／min。测试粒径大于或等于0．5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于或等于0．1μm的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器，采样量应为28．3L／min；测试粒径小于0．1μm的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。

二、采样点的确定应符合下列规定：

1 最少采样点应按下式计算：

式中：NL——最少采样点，四舍五入取整数；

A——洁净室(区)的面积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积，以㎡计。

2 采样点应均匀分布于洁净室(区)的面积内，并应位于工作区高度。

三、每次采样的最少采样量应符合下列规定：

1 每个采样点的每次采样量(VS)应按下式计算：

式中：Cnm——被测洁净室(区)空气洁净度等级被测粒径的允许限值(个／m³)；

20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，可检测到的粒子数。

2 每个采样点的采样量应至少为2L，采样时间应最少为1min，当洁净室(区)仅有1个采样点时，在该点应至少采样3次。当VS很大时，采样时间较长，宜采用顺序采样法。

四、对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。

五、室内测试人员应穿洁净服，不得超过3人，测试人员应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作应轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。

六、每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按下式计算平均粒子浓度：

式中：Xi——采样点i的平均粒子浓度，i可代表任何位置；

Xi1至Xin——每次采样的粒子浓度；

n——在采样点i的采样次数。

• 采样点为1个时，应按上图计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时，应按上图计算各点的平均浓度后，再按下式计算洁净室(区)总平均值：

式中：X——各采样点平均值的总平均值；

Xi1至Xim——按式(C．1．6)计算的各个采样点的平均值，即洁净室(区)总平均值；

m——采样点的总数。

八、置信上限(UCL)的计算应符合下列规定：

1 当采样点只有1个或多于9个时，不计算95％置信上限。

2 采样点为1个以上10个以下时，除应根据本规范式(C．1．7)计算各采样点的平均值和总平均值外，还应按下式计算总平均值的标准偏差：

3 应按下式计算总平均值的95％置信上限：

式中：t——分布系数，应按表1取值。

表1 95％置信上限(UCL)的t分布系数

采样点数m	2	3	4	5	6	7～9
t	6.3	2.9	2.4	2.1	2.0	1.9

4 每个采样点测得粒子浓度的平均值X1以及洁净室总平均值95％置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值时，可认为该洁净室(区)已达到规定的空气洁净度等级。

测试结果未能满足规定的空气洁净度等级时，宜增加均匀分布的新采样点进行测试，应对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计算，其结果可作为最终检验结果。