目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质，同时伴有对硅、尘粒、有机碳、微生物等物质含量的要求各不一。半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高。
电子行业用超纯水设备适用行业
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
2、超纯材料和超纯化学试剂;
3、实验室和中试车间;
4、汽车、家电表面抛光处理;
5、光电产品、液晶显示器
6、其他高科技精微产品;
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清洗行业EDI电除盐系统工艺流程及应用范围近年来开始在国外推广应用的EDI电除盐技术，是超纯水制造技术的一次革命;从此进入了一个无需再生化学品，而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水，用于半导体、集成电路等行业。国家经委也已将EDI电除盐技术的应用列入国家重点推广范围，对使用的企业给以政策上的优惠。 清洗行业EDI电除盐系统工艺流程 预处理→紫外线杀菌装置→一级RO装置→二级RO装置→中间水箱→EDI装置→脱氧装置→氮封纯水箱→除TOC UV装置→抛光混床→超滤装置→用水点
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