一、洁净室内的空态噪声级,非单向流洁净室不应大于60dB(A),单向流、混合流洁净室不应大于65dB(A)。
二、洁净室的噪声频谱限制应采用倍频程声压级,空态噪声频谱的限制值不宜大于表1中的规定。
表1空态噪声频谱的限制值
中心频率(Hz) 倍频程声压级[dB(A)] 洁净室分类 |
63 |
125 |
250 |
500 |
1000 |
2000 |
4000 |
8000 |
非单向流 |
79 |
70 |
63 |
58 |
55 |
52 |
50 |
40 |
单向流、混合流 |
83 |
74 |
68 |
63 |
60 |
57 |
55 |
54 |
三、洁净厂房的平面和空间设计应考虑噪声控制要求。洁净室的围护结构应有良好的隔声性能,并宜使其各部分隔声量相接近。
四、洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过洁净室允许值的设备,宜设置专用隔声或消声设施。
五、净化空调系统噪声超过允许值时,应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外,洁净室内的排风系统应进行减噪设计。
六、根据室内容许噪声级要求,净化空调系统风管内风速宜符合下列规定:
1 总风管风速宜为6m/s~10m/s。
2 无送、回风口的支风管风速宜为4m/s~6m/s。
3 有送、回风口的支风管风速宜为2m/s~5m/s。
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