一、洁净室及洁净区内空气中悬浮粒子空气洁净度等级应符合下列规定:
1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级应按表1确定。
表1 洁净室及洁净区空气洁净度整数等级
空气洁净度 |
大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3) |
|||||
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1μm |
5μm |
|
1 |
10 |
2 |
— |
— |
— |
— |
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
— |
— |
3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
— |
4 |
10 000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
— |
5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3520 |
832 |
29 |
6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8320 |
293 |
7 |
— |
— |
— |
352 000 |
83 200 |
2930 |
8 |
— |
— |
— |
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
9 |
— |
— |
— |
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
注:按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应超过3位。
2 各种要求粒径D的最大浓度限值Cn应按下式计算:
式中:Cn——大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整数,有效位数不超过三位数;
N——空气洁净度等级,数字不超过9,洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量;
D——要求的粒径(μm);
0.1——常数,其量纲为μm。
3 当工艺要求粒径不止一个时,相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍。
4 空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm~0.5μm,超出粒径范围时可采用U描述符或M描述符补充说明。
二、空气洁净度等级所处状态包括空态、静态、动态,空气洁净度等级所处状态应与业主协商确定。
三、 空气洁净度的测试方法应按相应规范要求进行。
四、 当洁净室(区)内的产品生产工艺要求控制微生物、化学污染物时,应根据工艺特点对各空气洁净度等级规定相应的微生物、化学污染物浓度限值。
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