洁净室设计规范要求

洁净室总体设计
洁净室位置的选择，应根据需要、经济等比较后确定：
一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；
二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。
三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。四、还有洁净室最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净室与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍，洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。洁净室周围应进行绿化，可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。
洁净室空气洁净度等级
洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合如下表规定：
等级 每立方米（每升）空气中 每立方米（每升）空气中
≥0.5微米尘粒数 ≥5微米尘粒数
100级 ≤35×100(3.5)
1000级 ≤35×1000(35) ≤250(0.25)
10000级 ≤35×10000(350) ≤2500(2.5)
100000级 ≤35×100000(3500) ≤25000(25)
注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。以保证测试数值是可靠的。
洁净室噪声控制
洁净室内的噪声等级应符合下列要求：
一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过65分贝A。
二、空态测试时，乱流洁净室的噪声等级不宜大于58分贝A，层流洁净室的噪声级不应大于60分贝A。
三、洁净室的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。
四、洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。
五、净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。
六、条洁净室的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。
洁净室振动控制
一、洁净室和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。
二、洁净室内外各类振源，应测定其对洁净室的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。
三、精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发生量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。
洁净室建筑要求
一、洁净室的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。
二、洁净室的高度以净高控制，净高应以100毫基本模数。
三、洁净室主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。厂房变形缝应避免穿过洁净区。
四、送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。
五、对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。